在温度、管径等参数一定的情况下,气体是层流状态时,通过获取层流元件两端的压差信号,计算出体积流量,然后通过温度、压力等参数的修正,获得标准体积流量。
层流气体的进、出口两端有两条引压管,引压管连通至两个压力测试孔压力测试孔之间有一个压力压差传感器(由一个压力传感器和一个压差传感器集成在一起),能获得两个孔的压力和压差。通过压差能获得层流气体的流速,从而得出气体流量。压差和气体的流量趋近于线性相关(哈根泊肃叶定律)。
单位时间内流过一个截面的流体的体积/质量。
层流是流体的一种运动状态,它做层状的运动,其质点沿着与管轴平行的方向作平滑直线运动。
层流质量流量计的单位一般为SLPM(升/分钟)、SCCM(毫升/分钟),均为标况下体积流量单位。
在压力和温度确定的情况下,气体的密度是确定的,知道体积流量就能确定质量流量。
标况体积流量*标况下气体密度=标况质量流量
单位面积上受的力。(度量单位体积内压缩程度的单位)
1kg=100Kpa=一个大气压
1Mpa=1000Kpa=10kg
压力越高,产品配件受力越大,产品就容易损坏。
度量物质在分子尺度上运动的激烈程度。
温度越高,对产品的要求就越高,温度低也会造成配件变脆,容易损坏。庙中求子被僧人C燕氏标准产品适用的温度范围为-20℃-60℃。同样,范围之外的可以定制。
物质占用空间的大小。
1ML=1CC=1立方厘米
1L=1立方分米=1000ML
1立方米=1000L
①可压缩性:气体受到压力时体积会收缩,压力减小时体积会变大;
②热膨胀性:气体的体积和压力会受到温度的影响;
③气体有粘性:流体发生形变时,流体内阻止流体发生形变的现象。
在流量计和控制器新安装或发生故障时,应进行一般检查。
故障现象 | 故障可能原因 | 处理方法 |
开机后,无气流流过 |
1.1气源未开,气路不通 |
接通气源,开通气路 |
1.2过滤器堵塞 |
更换过滤器 |
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1.3流量计堵塞 |
返厂处理 |
故障现象 | 故障可能原因 | 处理方法 |
开机不通气的情况下,流量检测不正常 |
2.1零点偏差 |
进行自动校准操作 |
2.2电源故障 |
检查24V电源 |
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2.3传感器故障 | 返厂处理 | |
2.4控制电路故障 |
返厂处理 |
故障现象 | 故障可能原因 | 处理方法 |
流量显示不能达到满量程 |
3.1进气压力低于额定值 |
提高入口气压 |
3.2通道堵塞 |
返厂处理 |
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3.3其它电路故障 |
返厂处理 |
故障现象 | 故障可能原因 | 处理方法 |
使用高频电源时流量计受干扰 |
4.1供电系统的地线和零线接地连接或机壳接地有问题 |
检查接地系统,注意一点 |
4.2信号参考端连接问题 |
检查信号连接线 |
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4.3空间干扰 |
适当屏蔽,远离干扰源,选用屏蔽线 |
故障现象 | 故障可能原因 | 处理方法 |
实际流量与显示流量不一致 |
5.1流量计通道被污染,引起流量精度发生偏差 |
重新进行清洗标定 |
5.2流量计零点有较大漂移,不稳定 |
返厂处理 |
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5.3实测工质与选择工质不一致 |
根据实际情况切换工质 |
故障现象 | 故障可能原因 | 处理方法 |
不通气时,发现零点不稳,或零点长时间慢漂移 | 6.1传感器故障 | 返厂处理 |