最小流量：0.1SCCM 最大流量：5000SLPM
M系列气体层流质量流量计与S系列的区别在于没有触摸式显示屏，特有的层流压差技术，配合高精度压力、温度传感器实现的补偿，及独创核心算法，使得产品具有高精度、高重复性、低零点、温度、压力漂移量的特点，模拟信号和数字信号的通讯方式，适用于配套过程控制的客户。
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型 号 |
PIPG-M101 PIPG-M201 |
PIPG-M102 PIPG-M202 |
PIPG-M120 PIPG-M220 |
PIPG-M150 PIPG-M250 |
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流量规格 |
0.5、1、2 、 5 、10、20SCCM |
50、100、200 、 500 、1000 、2000SCCM |
5、10 、20 、 50 、100 、200 SLPM |
500、1000、1500、 2000、3000、4000、5000SLPM |
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性能参数 |
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准 确 度 |
±0.5~1.0%RD（20%～100%量程范围） 或 ±0.2％F.S.（≤20%量程范围）（RD-读数 F.S.-满量程） M100-WR：±1.0%RD（10%～100%量程范围）或 ±0.1％F.S.（≤10%量程范围）（RD-读数 F.S.-满量程） |
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重复精度 |
±0.1~0.2%F.S. |
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| 压力漂移 | Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa； Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压)) | |||
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温度漂移 |
Zero：≤±0.02%F.S./℃； Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度20℃） |
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工作范围 |
1%～100%F.S.(最大可达120%F.S.) |
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响应时间 |
≤100ms |
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启动预热时间 |
≤1s |
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使用条件 |
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介质温度范围 |
-20℃～60℃ |
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| 环境温度范围 | -20℃～50℃ | |||
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使用湿度范围 |
0%～98%（无冷凝） |
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| 满量程压损 | 4kPa | |||
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耐 压 |
1.5MPa |
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工作压力范围 |
60kPa~1MPa |
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供电电压 |
24V ±20% |
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消耗电流 |
< 150mA（＜3W） |
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安装方式 |
无指定（任意角度） |
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接气部材质 |
SUS304，SUS316L |
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输出方式 |
标配：数字：RS485 选配：Profibus 模拟：(0~5)V/(4～20)mA |
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